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                CZ晶體生長爐

                產品詳情

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                CZ晶體生長爐

                零售價
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                市場價
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                產品編號
                數量
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                技術參數

                產品簡介:

                直拉法晶體生長爐,可針對于高純度活潑材料的晶體生長實驗探索,也可以適用于晶體材料的生產;此款晶體生長爐可以提拉各種氧化物單晶和金屬單晶,如藍寶石、 GGG, YAG, LaAlO3 , Si 和 Ge 等,最高溫度可達 2100℃ (石墨坩堝)。此系統采用組成:高頻感應加熱電源,高真空腔體,石墨坩堝、或者氮化硼坩堝、精密提拉機構和坩堝旋轉機構。

                 

                二、主要技術參數

                 

                作電源

                AC 380V,三相,20KW

                感應射頻

                30-80KHz

                最高熔煉溫

                1650℃

                 

                 

                真空系統(選配)

                配置一:10-2torr (機械泵)

                1.型號:VRD-24

                2.抽氣口接口尺寸:KF25

                3.抽氣速率:(24m3/h) 6.6L/S

                4.電機功率:750W

                5.極限壓強 4×10-2Pa

                配置二:10-5torr  (機械泵+分子泵)

                1.抽氣速率:620L/s

                2.極限壓強:6×10-5Pa

                3.啟動時間:≤8min

                4.額定轉速:27000rpm/min

                5.冷卻方式:水冷

                6.抽氣口接口尺寸:LF160

                 

                 

                 

                 

                 

                空腔室

                 

                 

                1.采用 SS304 不銹鋼腔體雙層水冷腔體,確保設備工作室表面溫度 70℃,

                2.體尺寸:  φ400*400mm臥式結構

                3.腔門上有一個50*150mm 的方形觀察窗口,方便晶體生長過程中實 時觀察樣品的熔化和生長情況;

                4.腔體上部安裝了一個量程為-0.1-0.15MPa 的機械壓力表用于室內壓力情況

                5.一個 φ6 雙卡套接頭做為出氣口,并通過一個不銹鋼針閥控制氣的通斷

                6.電磁閥可自動控制進氣

                7.安裝了一個安全壓閥,當腔室中壓力大于一定值時將自動泄壓, 保腔體的安全

                 

                提拉機構

                1.提拉采用伺服電機驅動,旋轉采用直流電機驅動

                2.提拉速度:0.01-30mm/h

                3.晶桿旋轉速度:0.1-60 rpm

                4.最大提拉行程:200mm

                5.位移精度:0.01mm

                6.提拉分為快速和慢速

                坩堝旋轉機構

                1.直流電機驅動

                2.旋轉速度:1-30 rpm

                 

                控制系統

                1.整個電路控制系統在觸摸屏上面實現操作控制,采用控制軟件進行控制,可以實現以下功能:

                2.生長斜率及控制參數設定;

                3.控制晶升,動態可調

                4.控制晶轉,可設定多段速自動執行

                5.腔體真空壓力檢測

                6.報警監測,晶升晶轉中頻氣壓等上限報警

                7.實時數據曲線

                8.數據記錄, 自動存儲運行數據

                 

                水冷系統(選配)

                1.工作電流:2.1-12.9A

                2.制冷量:49474Btu/h

                3.最大流量:117L/min

                4.水箱容量:75L

                坩堝系統(選配)

                1.可選石墨坩堝或者氮化硼坩堝和相應的保溫材料組件

                此單晶爐的坩堝尺寸分為D50*H50mm和D80*H80mm

                變壓器(選配)

                可根據客戶所在地的電壓選配變壓器,如480V變380V,415V變380V等

                產品尺寸(參考)

                1.設備主機:~1480mm(L)  x 1150mm(W) x 2450mm(H)

                2.冷水機:~800mm(L)  x 800mm(W) x 1200mm(H)

                3.變壓器:~1050(L)  x 800mm(W) x 1200mm(H)

                關鍵詞:
                晶體生長爐
                藍寶石
                GGG
                YAG
                LaAlO3
                2100℃晶體生長爐
                直拉法晶體生長爐
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                未找到相應參數組,請于后臺屬性模板中添加

                河南成儀設備科技有限公司

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